真空設備檢漏
一個真空系統,經相當長時間抽氣之后,仍然達不到預期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統本身的問題。放氣,即真空系統或容器內部存在氣體或氣源。漏氣,即真空系統或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術所要解決的問題,即準確檢出漏孔并加以修補。常規檢漏內容包括:用適當的方法判斷真空系統中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位,以便修補堵漏。
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氫氣檢漏設備
(1)檢漏儀:采用上述工作原理制造的氫氣檢漏儀,由于氫氣的上述性質,其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。(2)示蹤氣體充注控制器:對于批量生產的用戶,高壓柜氦測漏系統,好采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作,可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。
氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏,氦測漏系統,稱作氫氮混合氣檢漏法,或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的(ISO10156),無毒性和腐蝕性,也不會對設備和環境產生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素,有著很多的優點。
氫氣檢漏
油霧法
油霧法的測試塵源為油霧,“量”為含油霧空氣的濁度,以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。
德國規定使用石蠟油,油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測過濾器時,容易對過濾器造成損傷,且不能直接讀值,浪費時間。
DOP法
這種方法曾經是國際上測試過濾器海綿常用的方法。
它的測試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴,也稱為“熱DOP”,“量”為含DOP空氣的渾濁程度。
將DOP液體加熱成蒸汽,包膜式氦測漏系統,蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴,去掉過大和過小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒,進入風道,通過測量過濾器前后氣樣的濁度,并由此判斷過濾器對0.3微米粉塵的過濾效率。
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